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王矜奉,陈子清,曾宪楠,胡云展,张幼冰,陈国光.离子注入在声表面波器件上的应用[J].声学技术,1983,(3):25~27
离子注入在声表面波器件上的应用
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作者
单位
王矜奉
山东大学物理系铁电压电教研室
陈子清
山东大学物理系铁电压电教研室
曾宪楠
山东大学物理系铁电压电教研室
胡云展
山东大学物理系铁电压电教研室
张幼冰
山东大学物理系铁电压电教研室
陈国光
山东大学物理系铁电压电教研室
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中文摘要
:
本文以He
+
注入LiNbO
3
晶体表面为例,给出了表面波相违随注入离子剂量和注入离子能量的变化关系曲线,并介绍了离子束注入在声表面波器件上的一些应用.
英文摘要
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