文章摘要
王矜奉,陈子清,曾宪楠,胡云展,张幼冰,陈国光.离子注入在声表面波器件上的应用[J].声学技术,1983,(3):25~27
离子注入在声表面波器件上的应用
  
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作者单位
王矜奉 山东大学物理系铁电压电教研室 
陈子清 山东大学物理系铁电压电教研室 
曾宪楠 山东大学物理系铁电压电教研室 
胡云展 山东大学物理系铁电压电教研室 
张幼冰 山东大学物理系铁电压电教研室 
陈国光 山东大学物理系铁电压电教研室 
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中文摘要:
      本文以He+注入LiNbO3 晶体表面为例,给出了表面波相违随注入离子剂量和注入离子能量的变化关系曲线,并介绍了离子束注入在声表面波器件上的一些应用.
英文摘要:
      
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