文章摘要
孙承平.反射式超声显微镜的V(Z)技术[J].声学技术,1985,(1):40~42,54
反射式超声显微镜的V(Z)技术
  
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孙承平 上海876研究所 
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      超声显微镜自1973年问世以来,随着工作频率的提高,分辨率不断得到改善。如3千兆赫的声透镜,耦合液为水的情况,分辨率达0.34微米,可与光学显微镜相提并论。尤其对不透明或反射差的材料,超声显微镜更有独到之处。八十年代大规模集成电路工艺和微处理器技术的发展和普遍应用,促进超声显微镜不仅能高分辨率成像而且由定性转为定量,成为高精度分析和无损检测的多功能精密仪器设备。其中,多年来逐渐形成的一种测量方法-V(Z)技术对超声显微镜的开发与研究有重要作用。
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