章奎生,朱维薇.100级超净车间空调噪声的控制[J].声学技术,1990,(4):33~34 |
100级超净车间空调噪声的控制 |
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由日方设计的上海贝岭微电子有限公司100级超净车间面积220m2,相邻空调机房面积150m2,内装三台空调机组,机房与超净车间仅一墙之隔,下部回风口连通,上部送风经一段阻性消声器及超净车间顶部静压室和高效过滤器后送至车间内。 |
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